真空系統(tǒng)用泵的選擇方法？

真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套

真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長(zhǎng)期工作，問(wèn)

應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。

先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K=600：30=20得出K=20時(shí)zui大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí)，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar

入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的

前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。

另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求問(wèn)題，如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)，可選較小的前級(jí)泵;

假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級(jí)泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝

有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級(jí)泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。

對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的，對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)

1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空

度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，極限真空度要求在133～

1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-

1/4，不能太大，否則將使壓縮比過(guò)大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級(jí)泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量

的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的

氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的

油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的

前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。